[设备]超声原子力模量成像分析仪

作者:       发布于:2016-04-13 08:00:00       浏览次数:2244次

中文名称:

超声原子力模量成像分析仪

英文名称

Ultrasonic Atomic Force Microscope

仪器编号:

01518893

仪器型号:

AFAM

生产厂家:

NT-MDT Co. 俄罗斯

放置位置:

微纳加工与测量实验室

  功能介绍    

超声原子力显微镜(AFAM)将超声检测技术与原子力显微技术相结合,构成超声原子力显微镜,该技术能够实现样品内部纳米结构的测量,并分析如局域弹性模量、刚度等力学性能,与常规原子力显微镜相比,成像分辨率更好,速度更快。

技术特点:可实现空气环境中接触式AFM/LFM/共振模式 (半接触+非接触AFM)测量/相位成像/力调制(粘弹性)/MFM/EFM/附着力成像/AFM光刻力/延伸阻力成像(SRI)/AFM光刻电压/扫描电容成像(SCI)/扫描Kelvin探针显微成像(SKM)。

  主要技术参数 

·定位样品范围 5×5mm,定位精度5μm。

·水平方向扫描范围为90×90μm,Z向范围为3.5μm。

·连续缩放视频显微镜,数值孔径达到0.1,放大倍率最高1050倍,视野范围0.37mm到4.5mm可调。

  应用范围 

该超声原子力模量成像分析仪主要涉及微观材料力学、表面形貌测量等领域,能够实现较大的尺度范围内同时对材料表面形貌和弹性性能分布进行表征。