[设备]探针台+半导体特性分析平台

作者:       发布于:2016-04-05 08:00:00       浏览次数:1928次

中文名称:

探针台+半导体特性分析平台

英文名称

Probe station + Semiconductor Characterization System

仪器编号:

01214303

仪器型号:

4200-scs、SUMMIT 1100

生产厂家:

美国吉时利仪器公司

放置位置:

柔性电子制造实验室

  功能介绍    

该设备可精密准确测取纳米材料、脉冲信号的电学特性;可开展半导体器件的 C-V、I-V特性分析以及光电器件的检验测试,实时绘图与分析,具有高精度和亚fA级的分辨率。结合四探针技术可用于碳纳米管,太阳能电池等特性分析,具有广阔的应用前景和一定的社会经济效益。

  主要技术参数 

·电流测量范围:1fA-100mA;电压测量范围:1μV-100V;

·C-V测试模块的指标为:扫描频率:1KHz-10MHz;偏置电压:±30V;频率精度:±0.1%;

·脉冲I-V测试模块的指标为:可同时输出脉冲的通道数:

·系统脉冲发生器频率:10MHz-1Hz;

·系统最小测量带宽:100ns;

·最大脉冲电压:10V P-P;

·电流测量分辨率:1pA;电流噪声:1000pA;

·系统RMS抖动:1ns。

·系统不同模块之间可实现自动切换,且自动切换时探针台内部无需换线

  应用图例