[设备]钨灯丝扫描电子显微镜

作者:       发布于:2016-04-13 08:00:00       浏览次数:2033次

中文名称:

钨灯丝扫描电子显微镜

英文名称

Tungsten Filament Scanning Electron Microscope

仪器编号:

01213955

仪器型号:

JSM-6610LV

生产厂家:

日本电子株式会社

放置位置:

微纳加工与测量实验室

  功能介绍    

钨灯丝扫描电子显微镜是一款结构紧凑的高性能、高效率电子显微镜,可以观测纳米样品尺寸的形貌成像,尤其是用外表尺寸较大的样品。

技术特点:提供二次电子成像、背散射成像、成分像、形貌像等多种图像模式。

 1) 可以对不同尺寸样品进行表面形貌分析。

 2) 可以同时对导电样品和不导电(需做镀膜处理)进行分析。

 3) 抽真空时间快,操作简单。

 4) 配有样品台导航系统,可事先使用CCD数字影像系统进行拍照,利用照片对样品位置进行导航,方便切换、位移样品。

  主要技术参数 

·在高真空、加速电压30Kv下二次成像分辨率可达3.0nm

·最高可达20000倍成像;

·观测样品直径可达200mm,观测范围125mm*100mm

  应用范围 

主要用于观测导电固体以及半导体。不导电固体表面镀金属膜之后也可以观测,低真空模式下含水分的固体也可以测量。

  研究应用成果展示 

一维纳米材料机械与电性能测量与应用。数字制造装备与技术国家重点实验室“纳米材料机械性能测试与纳米组装平台的关键技术研究”项目。

光纤纳米控针形貌观测。

跨尺度微纳仿生结构观测。

阳极氧化名铝纳米结构形貌制备及观测。