[设备]激光共聚焦显微镜

作者:       发布于:2016-04-13 08:00:00       浏览次数:2049次

中文名称:

激光共聚焦显微镜

英文名称

Laser Scanning Confocal Microscope

仪器编号:

01213557

仪器型号:

VK-X200K

生产厂家:

日本基恩士公司

放置位置:

微纳加工与测量实验室

  功能介绍    

激光共聚焦显微镜整体设备,可对物体的原貌状态在非破坏,非接触,普通的环境下进行表面分析。最高的放大倍率在24000倍。图像极限解析度最高位0.13μm。XY,宽度测量方向分辨率可以到1nm;Z,高度测量方向分辨率可到0.5nm。不需要在真空环境测量,可直接观测,可采用3D模式对被测物形状,粗糙度,表面积等进行测量,可做高度,宽度,横截面,角度,R值,表面积,体积,线粗糙度,面粗糙度等进行测量。

  主要技术参数 

·光学变焦范围:1-8倍;

·测定用雷射:408纳米紫激光;

·扫描频率:4-120Hz(面扫描),7900Hz(线扫描);受光素子: PMT卤素灯;

·物镜放大倍率:5,10,20,50,150;

·配自动测量软件和粒度分析软件(VK-H1XVE):

 1) X-Y 平面分辨率要求到达200纳米;Z轴扫描分辨率要求达到10纳米;

 2) 观测范围大于5mm2;放大倍数需超过15000倍;

 3) 可观测薄膜等透明材料;可观测透明液体;能自动对三维几何形貌进行测量;

 4) 对粗糙度可进行直接评价;

 5) 可自动分析图像,显示颗粒粒度等;

 6) 测量头可拆卸,直接安装在大行程运动平台上;

 7) 高清彩色CCD拍摄图片;可进行黑白和彩色两种模式观察;

 8) 可通过多幅图像的自动拼接以实现大面积物体的观测。