陈修国

姓名:陈修国

电话:027-87558045

职称:讲师

邮箱:xiuguochen@hust.edu.cn

个人基本情况

    陈修国Chen Xiuguo, Lecturer,男,博士。20136月博士毕业于华中科技大学机械电子工程专业,同年进入华中科技大学材料学院博士后流动站,20166月出站,留校工作。

   主要从事微纳光学测量技术与仪器方面的研究工作。在Applied Physics Letters、Optics Express、Journal of Applied Physics、Review of Scientific Instruments等国际著名期刊发表SCI论文20余篇;申请国际国内发明专利10余项,其中授权专利9项。

    曾获山东省优秀毕业生、华中科技大学优秀毕业研究生、华中科技大学优秀博士后、第四届上银优秀机械博士论文佳作奖、机械学院优秀博士后奖励计划、第43届日内瓦国际发明金奖(排名3)等荣誉。

    目前,主持有国家自然科学基金青年基金项目1项、中国博士后科学基金面上项目一等资助和特别资助项目各1项。作为项目骨干,先后参入了国家重大科学仪器设备开发专项、国家自然科学基金重大研究计划培育项目等5项。

主要研究方向

微纳光学测量技术与仪器


开设课程

1. 数字电路

2. 光谱椭偏测量概论


近年的科研项目、专著与论文、专利、获奖

承担的科研项目:

[1]  国家自然科学基金青年基金项目,纳米结构广义成像椭偏仪椭偏测量理论与方法研究,51405172,2015/01–2017/12

[2]  中国博士后科学基金特别资助项目,基于离焦扫描广义成像椭偏仪的三维纳米结构测量方法,2015T80791,2015/04–2016/09

[3]  中国博士后科学基金面上项目 (一等资助),基于广义成像椭偏仪的纳米结构几何参数测量方法研究,2014M560607,2014/07–2015/07


代表性著作:

[1]     X. G.Chen, C. W. Zhang, and S. Y. Liu, “Depolarization effects from nanoimprintedgrating structures as measured by Mueller matrix polarimetry,” Applied PhysicsLetters 105(15), 151605, 2013

[2]     X. G.Chen, S. Y. Liu, C. W. Zhang, and H. Jiang, “Improved measurement accuracy inoptical scatterometry using correction-based library search,” Applied Optics52(27), 6727-6734, 2013

[3]     X. G.Chen, S. Y. Liu, C. W. Zhang, H. Jiang, Z. C. Ma, T. Y. Sun, and Z. M. Xu,“Accurate characterization of nanoimprinted resist patterns using Muellermatrix ellipsometry,” Optics Express 22(12), 15165-15177, 2014

[4]     X. G.Chen, C. W. Zhang, S. Y. Liu, H. Jiang, Z. C. Ma, and Z. M. Xu, “Mueller matrixellipsometric detection of profile asymmetry in nanoimprinted gratingstructures,” Journal of Applied Physics 116(19), 194305, 2014

[5]     X. G.Chen, S. Y. Liu, H. G. Gu, and C. W. Zhang, “Formulation of error propagationand estimation in grating reconstruction by a dual-rotating compensator Muellermatrix polarimeter,” Thin Solid Films 571, 653-659, 2014

[6]     X. G.Chen, H. Jiang, C. W. Zhang, and S. Y. Liu, “Towards understanding thedetection of profile asymmetry from Mueller matrix differential decomposition,”Journal of Applied Physics 118(22), 225308, 2015

[7]     X. G.Chen, W. C. Du, K. Yuan, J. Chen, H. Jiang, C. W. Zhang, and S. Y. Liu,“Development of a spectroscopic Mueller matrix imaging ellipsometer fornanostructure metrology,” Review of Scientific Instruments 87(5), 053707, 2016