佐治亚理工学院David W. Rosen 教授来我院访问交流

作者:郑永锋 编辑:吴仰天       发布于:2017-06-22 10:00:00       浏览次数:255次

6月21日,佐治亚理工学院David W. Rosen教授应我院高亮教授邀请,来我院进行学术交流访问,并作了题为“Process Measurement and Control of Mask Projection Stereolithography Processes(蒙版投影立体光刻工艺的过程测量与控制)”的学术报告。同时,我校其它学院以及兄弟院校开展相关研究的师生也参会聆听了本次报告。


    曝光控制投影平版光刻(简称:ECPL)可理解为蒙版投影立体平版光刻增材制造过程中的一种变体,与其他类型的立体光刻工艺不同的是,ECPL系统是在静态且透明的基底紫外线照射下,再通过投影来固化3D零件,而紫外线可以通过改变曝光强度、型式与持续时间等一系列位图来进行调制。

报告中,David教授首先介绍了佐治亚理工学院与自己目前挂职的新加坡科技与设计大学。接着向在场师生阐释了一种原位干涉固化测量(简称:ICM)系统,该ICM系统可用来实时检测固化高度轮廓的ECPL过程输出,曝光固化高度由一个闭环反馈的开关控制器控制。实验结果验证了该ICM系统具备实时捕获动态过程和感知过程输出的能力。研究中针对ECPL过程中的不确定性,ICM系统噪声与计算中断等外界干扰问题,作了一个全面的误差分析,结论表明:该系统可通过硬件的增强来达到亚微米级的控制。最后,David教授讲述了自己课题组未来的研究计划。

   会后,在场师生与David教授就ECPL与ICM问题展开了热烈讨论,本次报告会圆满结束。