[设备]数字全息显微镜

作者:       发布于:2016-04-13 08:00:00       浏览次数:

中文名称:

数字全息显微镜

英文名称

Digital Holographic Microscope

仪器编号:

01504013

仪器型号:

DHM-R1003

生产厂家:

瑞士Lyncee Tec

放置位置:

微纳加工与测量实验室

  功能介绍    

对三维形貌实时非接触测量,材料大面积表面形貌快速测量,微小零部件动态性能测试。使用数字全息原理,使该仪器具有非接触,对环境光的干扰不敏感,对振动不敏感,测量时无需对焦等特点。

  主要技术参数 

·全场景3D实时、动态测量;

·横向分辨率不低于450nm(40倍物镜时),纵向分辨率不低于0.6nm;

·动态测试频率达25MHz;

·形貌测量时无需隔振。

  应用范围 

该设备主要用于微小元器件的全场景超快速移动三维测量,材料大面积三维形貌快速测量,表面光洁度分析,实时动态观测等。