[设备]原子力显微镜

作者:       发布于:2016-04-13 08:00:00       浏览次数:

中文名称:

原子力显微镜

英文名称

Atomic Force Microscope(AFM)

仪器编号:

01300173

仪器型号:

DI INNOVA

生产厂家:

美国BRUKER NANO INC

放置位置:

微纳加工与测量实验室

  功能介绍    

原子力显微镜(Atomic Force Microscope ,AFM),是用来研究材料表面微观结构和性能的高分辨率原子级分析仪器。它通过检测待测仪器的微型探针与样品表面之间的极微弱的原子间相互作用来研究物质的表面结构及性质。当探针扫描样品时,通过探针与样品的相互作用,就可以获得样品表面形貌以及电学、力学性能等信息,实现原子级的分辨水平。

可在大气及液体环境下准确地观测样品表面纳米尺度的三维形貌。可对样品表面物理化学特性进行研究,如表面组分区别、表面电势、磁场力、静电力、摩擦力和其他表面力以及电化学相互作用力的测量。可对样品表面进行纳米尺度的刻蚀和加工。

  主要技术参数 

·分辨率:可持续稳定得到原子级分辨率, 能充分满足科研需求;

·扫描范围:XY的扫描范围达到90×90微米,垂直方向最大扫描范围为7微米;

·防震性能:小于1HZ;

·测量模式:应拥有轻敲模式和接触模式等基础测量模式;

·光学辅助观察系统:应内置光学观察系统,应带彩色 CCD 摄像头;

·噪音水平:整体噪音小于0.5nm,X方向噪音小于1.2nm, Y方向噪音小于1.2nm ,Z方向噪音小于0.2nm。

  研究应用成果展示 

本设备应用于国家自然科学基金项目“面向仿生分级多层微纳结构的跨尺度设计优化和制备新方法”、“基于硅模具的非晶合金三维微纳结构可控制备研究”、“染料敏化太阳能电池光阳极结构的仿设计与可控制备”、“基于表面纳米褶皱的微纳分级结构的仿生制造工艺研究”、“太阳能电池智能表面结果的仿生设计与制备工艺的研究”等项目,研究利用微纳加工工艺批量制备具有优异表面性能的仿生结构。