[设备]HMDS专用镀膜机

作者:       发布于:2016-04-05 08:00:00       浏览次数:

中文名称:

HMDS专用镀膜机

英文名称

HMDS Coater

仪器编号:

01519943

仪器型号:

MD-40G

生产厂家:

合肥真萍

放置位置:

柔性电子制造实验室

  功能介绍    

HMDS专用镀膜机在匀胶前的硅片等基片表面均匀涂布一层 HMDS。可降低HMDS处理后的硅片接触角,进而降低匀胶时光刻胶在硅片表面铺展开的难度,提高光刻胶与硅片的黏附性,降低光刻胶的用量。

用户可以自行设定开箱温度来降低process时间,正常工艺在50分钟-90分钟 (按产品所需而定烘烤时间),为正常工作周期不含降温时间(因降温时间为常规降温)。

整个系统采用优质材料制造,无发尘材料,适用100 级光刻间净化环境。钢化、钢化玻璃门观察工作室内物体,一目了然。箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。工作室采用不锈钢板(或拉丝板)制成,确保产品经久耐用。

  主要技术参数 

·内胆尺寸:450*450*450mm,300*300*300mm

·真空度:133Pa;采用真空泵

·加热方式:腔体下部及两侧加温。加热器为内置加热板

·温度: +10℃~ 200℃;微电脑温度控制器,控温精确可靠。

·温度分辨率:0.1℃ ,控温精度:±2%℃(200℃内)

·芯片:2,4,6,8英寸,各可放80-100,40-60,30-40,10-20

  应用范围 

主要应用在光刻的前道工序,在MEMS器件制备、半导体、光电、LED、电工电子、柔性电子器件制备等领域。