[设备]反应离子刻蚀机

作者:       发布于:2016-04-05 08:00:00       浏览次数:

中文名称:

反应离子刻蚀机

英文名称

Reactive Ion Etching

仪器编号:

01609154

仪器型号:

Etchlab 200

生产厂家:

德国SENTECH instruments GmbH

放置位置:

柔性电子制造实验室

  功能介绍    

反应离子刻蚀是一种半导体生产加工工艺,它利用由等离子体强化后的反应离子气体轰击目标材料,来达到刻蚀的目的。气体在低压(真空)环境下由电磁场产生,等离子体中的高能离子轰击芯片表面并与之反应。反应离子刻蚀机属于干法刻蚀设备。

  主要技术参数 

·反应腔:298 mm直径, AlMgSi 0.5材料, 铰链连接顶盖

·下电极:铝制水冷电极,电极直径215毫米,4"-8"晶圆,可提供小片晶片托架

·上电极:硬铝镀层,带有淋浴头和中间光学终点探测窗口

·真空系统:防腐蚀旋转油泵,16 m3/h

·供气系统:2条气路,带有MFC和切断阀

·RF电源:3.56 MHz射频发生器, 600 W, 气冷

·控制系统:远程控制器, Interbus, RFC基础联动装置

·软件:SENTECH控制软件, 包含图形界面,recipe控制操作,功能强大的recipe编辑器和数据资料记录

  应用范围 

广泛应用于半导体器件、电力电子器件、光电子、太阳能电池、微机械等领域,是微米纳米器件制备的必备设备。