[设备]纳米粒子沉积系统

作者:       发布于:2018-04-25 19:28:59       浏览次数:

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中文名称:

纳米粒子沉积系统

英文名称

Nanoparticle deposition system

仪器编号:

01709788

仪器型号:

NMCJ-450

生产厂家:

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

放置位置:

柔性电子制造实验室

  功能介绍    

主要用于开发纳米粒子薄膜及多功能薄膜。

 主要技术参数 

·产生室极限真空度6.6×10^-5Pa,本底真空度6.6×10^-4Pa;

·过滤室极限真空度6.6×10^-4Pa,本底真空度1.0×10^-3Pa;

·沉积室极限真空度2.0×10^-5Pa,本底真空度6.6×10^-4Pa;

·样品台加热500度。

 应用示例 

适用于多种材料的功能薄膜如金属及合金薄膜、氧化物薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、铁磁薄膜、磁性薄膜等的研制开发。