集成电路测量装备研究中心管理委员会第一次会议召开

4月23日，我校集成电路测量装备研究中心（以下简称“研究中心”）管理委员会第一次会议在我院召开。我院副院长陶波，校科学技术发展院副处长刘爽，校发展规划与学科建设处副处长李涛，物理学院副院长吴庆文，光电学院副院长费鹏，集成电路学院副院长刘欢，我院院长助理夏凉、机械电子信息工程系主任夏奇等管理委员会成员及代表、研究中心科研团队成员参会。

管委会主任陶波介绍了研究中心前期筹备工作，团队的工作基础，以及机械学院提供的条件保障情况。希望研究中心做好规范化管理工作，细化共建学院的目标任务，做好有组织科研。

刘爽表示，研究中心要学习和落实学校对校内自主科研机构规范管理的要求，依托学院、共建学院履行职责，共同支持研究中心发展。

研究中心主任、我院机械电子信息工程系教授刘世元汇报了2023年度承担的重大项目、技术研发工作进展及合作交流情况，介绍了研究中心2024年度工作任务及存在的问题困难。

管委会成员展开讨论，充分肯定2023年取得的工作进展，并指出，研究中心要做好有组织科研，积极组织校内多学科交流；依托平台争取更多的内外部资源，结合学院、学校及企业各方力量，全力推动集成电路量检测技术与装备的发展；成员单位全力配合，共同解决团队未来发展的问题。

集成电路制造是重要战略产业，其在线尺寸测量与缺陷检测装备几乎被国外垄断。经学校研究，机械学院为依托学院，物理学院、光电学院、集成电路学院为共建学院，共同组成集成电路测量装备交叉学科科研团队，成立战略类校级自主设立科研机构“集成电路测量装备研究中心”。研究中心主要研究方向为面向集成电路制造的纳米薄膜、关键尺寸、套刻误差测量技术与装备，晶圆缺陷检测技术与装备，超连续谱可见光、极紫外、深紫外等高亮度桌面型光源，极紫外掩模缺陷跨尺度检测技术与装备。

（摄影/刘佳敏）