我院两团队荣获期刊《极端制造》2022年度最佳论文奖

近日，我院机械电子信息工程系朱金龙教授、刘世元教授团队，智能制造装备与技术全国重点实验室黄永安教授团队在中科院一区期刊《International Journal of Extreme Manufacturing》（《极端制造》，影响因子10.036）上发表的论文均荣获“2022年度最佳论文奖(2022 IJEM Best Paper Award)”。

朱金龙教授、刘世元教授团队发表的论文为“Optical wafer defect inspection at the 10 nm technology node and beyond（面向10纳米及以下节点的光学图形化晶圆缺陷检测技术）”。论文共同作者还包括我院博士后刘佳敏、江浩教授、谷洪刚副教授。

该文章对过去十年中与光学晶圆缺陷检测技术有关的新兴研究内容进行了全面回顾，透彻梳理了有望实现10nm及以下节点晶圆缺陷检测的各类新方法，建立了晶圆缺陷可检测性的评价方法，总结了缺陷可检测性的影响因素，并评述了传统后处理算法与基于深度学习的后处理算法及其对缺陷检测性能的积极影响。

面向图形化晶圆缺陷检测的各类光学检测原理示意图

黄永安教授团队发表的论文为“Mass transfer techniques for large-scale and high-density microLED arrays”（大面积高密度microLED阵列巨量转移技术）”。论文共同作者还包括我院博士生陈福荣、南京邮电大学教师卞敬。

该文章系统地总结了巨量转移在下一代microLED显示技术上的突破性研究和进展，其包括激光剥离、范德华转移技术、流体自组装和激光无接触转移技术等创新技术。透彻梳理了巨量转移技术每个代表性技术的原理和应用效果，并讨论了巨量转移技术的潜在挑战和未来研究方向。

microLED 显示器的制造过程和 microLED 显示的代表性示例

相关链接：

https://iopscience.iop.org/article/10.1088/2631-7990/ac64d7

https://mp.weixin.qq.com/s/bjFNHYTkUHelkBjz3yk6Fw

https://iopscience.iop.org/article/10.1088/2631-7990/ac92ee

https://mp.weixin.qq.com/s/hj3-beiMTpUaiiqVuEyHUg