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中文名称： |
探针式表面轮廓仪(台阶仪) |
英文名称： |
Probe type surface profilometer (step gauge) |
仪器编号： |
02206675 |
仪器型号： |
Dektak XT |
生产厂家： |
Bruker |
放置位置： |
先进制造大楼西楼B108柔性电子制造实验室 |
测量原理
电容式
功能介绍
探针式表面轮廓仪（台阶仪）具有优异的抗噪声特性，可以提供更高的重复性和分辨率。可以广泛的应用于微电子器件、半导体、电池、高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域 ，对各种复杂精密元器件精确测量表面形貌、台阶高度和表面粗糙度等。适用于柔性电子制造工艺实验平台，能及时对镀膜工艺的监控监测和及时改善。
主要技术参数 ：
·垂直测量范围：可达1毫米。
·探针尖半径：50nm～25um
·探针加力范围：1毫克～15毫克
·扫描长度：50um～5mm
·台阶高度重复性：<5埃
·测量样品最大尺寸：50mm
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