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中文名称： |
ALD&AFM双室系统 |
英文名称： |
ALD & AFM Dual Chamber System |
仪器编号： |
01613045 |
仪器型号： |
ALD－200 |
生产厂家： |
沈阳科学技术有限公司 |
放置位置： |
柔性电子制造实验室 |
功能介绍
ALD&AFM双室系统是一套将ALD反应腔室与AFM测试技术联用的系统，能够在ALD沉积的过程中对样品的表面进行实时的检测，从而能够很好的用于ALD沉积过程反应机理的研究。
主要技术参数:
·内胆尺寸：450*450*450mm,300*300*300mm
·配有原子力显微镜（安捷伦公司，型号为Agilent 5500 AFM/STM），扫描范围为X与Y方向均为90μm，Z方向为7μm
·样品加热温度可达900℃，并可实现原子级成像
设备优势：
·实现环境敏感样品的原位处理
·高分辨率原子级成像
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