[设备]纳米粒子沉积系统

  功能介绍    

主要用于开发纳米粒子薄膜及多功能薄膜。

 主要技术参数 

·产生室极限真空度6.6×10^-5Pa，本底真空度6.6×10^-4Pa；

·过滤室极限真空度6.6×10^-4Pa，本底真空度1.0×10^-3Pa；

·沉积室极限真空度2.0×10^-5Pa，本底真空度6.6×10^-4Pa；

·样品台加热500度。

 应用示例 

适用于多种材料的功能薄膜如金属及合金薄膜、氧化物薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、铁磁薄膜、磁性薄膜等的研制开发。