[设备]激光共聚焦显微镜

  功能介绍    

激光共聚焦显微镜整体设备，可对物体的原貌状态在非破坏，非接触，普通的环境下进行表面分析。最高的放大倍率在24000倍。图像极限解析度最高位0.13μm。XY，宽度测量方向分辨率可以到1nm；Z，高度测量方向分辨率可到0.5nm。不需要在真空环境测量，可直接观测，可采用3D模式对被测物形状，粗糙度，表面积等进行测量，可做高度，宽度，横截面，角度，R值，表面积，体积，线粗糙度，面粗糙度等进行测量。

  主要技术参数 

·光学变焦范围：1-8倍；

·测定用雷射：408纳米紫激光；

·扫描频率：4-120Hz（面扫描），7900Hz（线扫描）；受光素子： PMT卤素灯；

·物镜放大倍率：5，10，20，50，150；

·配自动测量软件和粒度分析软件（VK-H1XVE）：

 1) X-Y 平面分辨率要求到达200纳米；Z轴扫描分辨率要求达到10纳米；

 2) 观测范围大于5mm2；放大倍数需超过15000倍；

 3) 可观测薄膜等透明材料；可观测透明液体；能自动对三维几何形貌进行测量；

 4) 对粗糙度可进行直接评价；

 5) 可自动分析图像，显示颗粒粒度等；

 6) 测量头可拆卸，直接安装在大行程运动平台上；

 7) 高清彩色CCD拍摄图片；可进行黑白和彩色两种模式观察；

 8) 可通过多幅图像的自动拼接以实现大面积物体的观测。