[仪器]白光干涉原子力探针显微镜

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发布：2016-03-25

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	中文名称：	白光干涉原子力探针显微镜
	英文名称：	White light interference based atomic force probe scanning microscope
	仪器编号：
	仪器型号：	HUET-MAFM
	生产厂家：	华中科技大学机械学院自主研发
	放置位置：	精密测量实验室D104

功能介绍

基于白光显微镜基体，结合原子力探针，实现计量型、可溯源原子力探针扫描表面测量，可用于各种精密、超精密表面形貌及微结构台阶、沟槽、膜厚等高分辨率测量和分析。

主要技术参数

·计量型大范围纳米分辨率扫描驱动系统

·基于白光干涉的原子力探针定位、跟踪控制和计量

·基于SIFT三维图像拼接，实现大面积、纳米分辨率的表面形貌测量与分析。

·仪器有两种工作模式：

模式一、白光干涉模式

模式二、原子力扫描模式

应用范围

本设备可解决科学与工程表面测量、分析问题，满足医学、IC、MEMS、光伏发电、半导体照明、光通讯、生物工程、材料、微光学、精密加工、纳米制造等各科研领域的基础研究与应用基础研究需求。

研究应用成果展示

国家重大科学仪器专项“高端表面形貌测量系列仪器研究与开发”（2011YQ160013）

国家自然科学基金仪器专项“树状衍生多功能二、三维微纳图像综合测量系统”（50927502）

湖北省自然基金重点项目“三维表面形貌综合测量分析与评定研究”（2008CDA029）

国家支撑计划项目“线轮廓滤波器——样条小波”

863重点项目（2008AA042409）子项目“精密表面形貌测量”