新加坡南洋理工大学阳罚军博士来我院访问交流

3月11日，应我院制造装备数字化国家工程研究中心李新宇副教授邀请，新加坡南洋理工大学阳罚军博士来我院进行学术交流访问，并作了题为“Scheduling and Optimization Analysis for Cluster Tools in Semiconductor Manufacturing（半导体制造中组合设备的调度与优化分析）”的学术报告。我校开展相关研究的师生参会聆听了此次报告。

阳罚军首先回顾了半导体制造中的几个关键流程，讲解了半导体制造中组合设备调度与优化所面临的挑战，包括Wafer residency time constraint(WRTC，晶圆驻留时间约束)、Parallel process chambers(并行处理机制)、Revisiting/re-entrant processing(再造与凹角处理)、 Activity time Variation (ATV, 加工时间可变)和Machine breakdown(机器故障)等。随后，他还详细介绍了他本人及其所在团队在本领域所取得的研究进展。

最后，给出了本领域未来可能的研究方向：Low-volume high-mixed process(小容量高度融合过程) + WRTC、Cleaning operation（清洗操作） + ATV + WRTC和Cleaning operation + revisiting process(再造过程)+WRTC等。

会后，阳罚军与在场师生就半导体制造中组合设备的调度与优化等相关问题开展讨论。