刘世元：首位在国际光谱椭偏大会做大会报告的华人学者

‍2016年6月4日至10日，我院刘世元教授应邀赴德国柏林参加了第7届国际光谱椭偏大会（The 7th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry, ICSE-7）。会上，刘世元教授做了题为"Mueller matrixellipsometry: A power tool for nanostructuremetrology "的大会主题报告，成为首位受邀在该会议上作大会主题报告华人学者，代表着我国在光谱椭偏学领域研究的发展已日益得到国际同行的重视与认可。‍

在报告中，刘世元教授首先向大会简要介绍了华中科技大学的基本情况和机械学院近年的学科发展状况，然后分别从研究背景与动机、穆勒矩阵椭偏仪仪器研制、计算测量理论与方法、以及穆勒矩阵椭偏仪在纳米结构测量中应用四个方面详细介绍了刘世元教授领导的纳米光学测量（Nanoscale and Optical Metrology, NOM）研究组近年来的研究成果。刘世元教授指出纳米结构椭偏散射测量本质上是一种基于模型的计算测量，其面临可测量性、误差分析与测量不确定度评估、测量条件优化配置、正向模型快速精确求解、以及待测参数快速鲁棒提取等基础科学问题与关键技术挑战。通过对多种典型纳米结构开展得大量探索性实验研究，阐明椭偏散射测量技术为批量化制造中纳米结构三维形貌非破坏性、在线、精确测量开辟了全新途径。最后，刘世元教授介绍了光谱椭偏测量技术在中国的发展现状，并对该技术未来的发展进行了展望并提出了若干建议。

‍除刘世元教授的大会主题报告外，NOM研究组江浩副教授、张传维副教授、陈修国博士、谷洪刚博士、杜卫超、石雅婷、以及谭寅寅也分别以口头报告或墙报的形式汇报了自己的研究工作。这些研究工作均引起了与会者的广泛关注与兴趣。

国际椭偏大会创办于1993年，目前每隔3年举办一次，已连续举办了7届，是目前国际上最大规模的光谱椭偏学会议。本次大会共设大会主题报告6个，邀请报告和口头报告90余个，墙报报告190余个，吸引了来自美国、加拿大、德国、瑞典、日本、以及中国等数十个国家和地区500多位专家学者。‍

会后，应德国物理技术研究院（Physikalisch- TechnischeBundesanstalt, PTB）Bernd Bodermann博士的邀请，刘世元、江浩、张传维、陈修国、谷洪刚一行5人于10日-12日访问了PTB长度所与光学所，刘世元教授在访问期间做题为”Spectroscopic Ellipsometry: Principles, Instrumentation, andApplications for Nanometrology”的学术报告，双方就计量型椭偏仪研制、纳米结构椭偏散射测量方法溯源、国际阿伏加德罗常数计量项目（Internation Avogadro Project）等问题展开了细致的讨论，并就其中关键技术问题的研究达成了初步的合作意向。

    此次参会与访问得到了机械学院国际合作推进计划经费支持。