杨帆

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杨帆副研究员

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个人简介

       杨帆（Yang Fan, Associate Research Fellow），博士，华中科技大学副研究员，湖北省高层次人才。本科毕业于华中科技大学电子科学与技术系，硕士毕业于中国科学院微电子研究所，博士毕业于西班牙巴斯克大学，曾在CIC nanoGUNE研究中心及美国圣地亚哥州立大学从事博士后研究工作。2020年10月加入华中科技大学机械科学与工程学院，主要研究方向为原子级制造，包括面向集成电路、先进存储以及光电子显示/能源等应用领域原子层沉积/刻蚀理论、材料器件、工艺和装备研发，在Angew Chem，Advanced Functional Materials，ACS Materials Letters，Small等国内外期刊发表多篇高水平SCI论文，起草国际/国家标准4项，主持国家重点研发计划课/国家自然科学基金和湖北省自然科学基金等多项科研项目，研究成果入选中国科协“科创中国”先导技术榜单，指导学生获中国国际大学生创新创业大赛金奖。

研究方向

       面向IC制造的原子层沉积/刻蚀三维构筑与集成、面向先进显示/光伏能源的空间隔离原子层沉积技术与装备。欢迎有机械工程、集成电路、物理、化学、材料、光学等相关专业及学科背景的优秀同学报考硕博研究生，简历可发送至fan_yang@hust.edu.cn。

开设课程

《电子材料导论》（专业核心课）
《先进电子制造I》（专业核心课）
《纳米技术导论》（全英文专业选修）

科研项目

[1] 国家重点研发计划课题，“原子层刻蚀及在线监测系统研发”，主持
[2] 国家自然科学基金青年项目，“金属有机框架的气相渗透修饰XX”，主持
[3] 湖北省自然科学基金，“基于原子层沉积的微孔薄膜制备和功能调控”，主持
[4] 欧盟FP7研发框架计划,“薄层复合界面研究”，参与

论文专著与专利

代表性论文：
[1] Jisheng Song; Jian Zhang; Jinwei Hao; Fan Yang*; Rong Chen*, Antianisotropic Growth Enabled Compact MIL-53 Films for Ultralow-k Interconnect Dielectrics, ACS Mater. Lett. 2026, 8, 2530–2537.

[2] Geng Yang, Ziao Dai, Fan Yang*, Yan Xu, Xuewei Jiang, Zhong Cong, Bin Shan, Rong Chen*, Enhanced electron transport in low-temperature ALD SnO2 through hydroxyl defect engineering, Appl. Phys. Lett. 2026, 129, 101908.

[3] Xuewei Jiang, Qingbo Wang, Jinwei Hao, Geng Yang, Xing Yang, Wenbin Zhou, Chenhui Li, Bin Shan, Fan Yang*, Rong Chen*, Scalable Aluminum-Doped Zinc Oxide Transparent Electrodes via Spatial ALD for High-Efficiency Perovskite Modules, Small 2026; 22, e14903

[4] Geng Ma, Zhaojie Wang, Yuan Gao, Zoushuang Li, Xuewei Jiang, Yanwei Wen, Bin Shan, Fan Yang*, Rong Chen*, Quantitative modeling of substrate velocity effects on deposition efficiency and precursor consumption in spatial ALD, Chem. Eng. J. 2025, 517, 164236

[5] Xuewei Jiang, Bin Shan*, Geng Ma, Yan Xu, Xing Yang, Wenbin Zhou, Chenhui Li, Fan Yang*, Rong Chen, Scalable deposition of SnO2 ETL via SALD for large-area inverted perovskite solar modules, Chem. Eng. J. 2025, 505, 159629

[6] Meng Cao; Jisheng Song; Haonan Ren; Fan Yang*; Rong Chen*, Atomic Regulation of Metal–Organic Framework Thin Film for Low‑k Dielectric, Chem. Mater. 2024, 36, 11160–11169.

[7] Di Wen, Ruige Yuan, Fan Yang*, Rong Chen*, Two-step construction of KPDMS/Al2O3 ultra-barriers for wearable sensors, Dalton Trans. 2024, 53, 14656-14664

[8] Haonan Ren, Fan Yang*, Meng Cao, Bin Shan, Rong Chen*, Seamless integration of a nickel-based metal–organic framework with three-dimensional substrates for nonenzymatic glucose sensing, Dalton Trans. 2024, 53, 6300-6310

[9] Yinghao Zhang, Di Wen, Mengjia Liu, Yun Li, Yuan Lin, Kun Cao, Fan Yang*, Rong Chen*, Stretchable PDMS encapsulation via SiO2 doping and atomic layer infiltration for flexible displays, Adv. Mater. Interfaces 2022, 9, 2101857.

[10] Yun Li, Di Wen, Yinghao Zhang, Yuan Lin, Kun Cao, Fan Yang*, Rong Chen*, Highly-stable PEN as gas-barrier substrate for flexible displays via atomic layer infiltration, Dalton Trans. 2021, 50, 16166.

荣誉获奖

[1] 湖北省高层次人才
[2] 中国科协“科创中国”先导技术榜单
[2] 中国大学生创新创业大赛全国金奖

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