王健

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王健教授

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个人简介

      王健（Wang Jian，Professor），教授、博士生导师，国家级**高水平人才、湖北省高层次人才。获中国科学技术大学精密仪器系学士学位与英国Huddersfield大学国家先进计量中心博士学位，后在英国国家物理实验室从事博后研究工作，2015年进入华中科技大学。主要研究方向包括先进机械电子、集成电路制造表/界面光学（超）精密测量技术与仪器。主持国家自科基金、湖北省重点研发等国家、省部级课题8项，参与欧盟框架计划、国基金重点项目等若干。在IEEE TMECH/TIM, ADV ENG INFORM等国际权威期刊发表学术论文和报告70余篇，WoS引用1000+，H指数21；授权国家发明专利及软件著作权20余项；担任ISO国际标准化组织TC201 WG5工作组专家、全国产品几何技术规范标准化委员会TC240专家、全国高校互换性与测量技术研究会副秘书长、中国微米纳米技术学会微纳米测量技术与仪器分会理事、中国光学学会光学测试专委会委员等职务。获“测量科学技术”90周年亮点论文、湖北省科技进步奖、入选英国物理学会首批“表面计量”新兴领袖。

研究方向

IC制造表界面光学精密测量技术与仪器

开设课程

《工业摄影测量技术》
《互换性与技术测量》

科研项目

[1] 国家自然科学基金项目，基于多维光学成像的金属复杂构件增材制造“形-性”质量原位监测方法研究，2025-202
[2] 国家自然科学基金项目，基于偏振角分辨光谱分析的超薄膜在线测量方法与理论研究，2021-2024
[3] 国家自然科学基金项目，基于高斯过程模型的高动态三维表面智能采样与重构方法研究，2018-2020
[4] 国家重点研发项目课题，微缺陷在线检测与飞秒激光原位去除闭环控制技术，2023-2026
[5] 湖北省重点研发计划项目，多尺度微纳结构测量关键技术与系统研究，2021-2023
[6] 武汉市知识创新专项，跨尺度复杂曲面精速三维测量关键技术研究，2022-2024
[7] 湖北省技术创新专项重大项目，“基于光谱共焦的复杂曲面轮廓高速测量仪研制”，2017-2019

论文专著与专利

[1] Snapshot Fourier Ellipsometry: Pushing to Sub-Nanometer Accuracy Limits for in-Situ Ultra-Thin Film Metrology, Advanced Scientific Instruments, 100008, 2026

[2] Breaking 1 kHz frame-rate limits of 3D reconstruction with industrial cameras via snapshot compressive fringe projection profilometry, Optics and Laser Technology, 192, 113757, 2025

[3] Angle-resolved ellipsometric analysis of polishing-induced subsurface damages in calcium fluoride crystals for ultra-precision manufacturing, Applied Surface Science, 696, 162997, 2025

[4] A novel reconstruction method with robustness for polluted measurement dataset, Advanced Engineering Informatics 62, 102834, 2024

[5] “3-2-1” PMP: Adding an Extra Pattern to Dual-Band Phase-Shift Profilometry for Hyper-Precision 3D Imaging, IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 73, 5025814, 2024

[6] Incoherent partial superposition modelling for single-shot angle-resolved ellipsometry measurement of thin films on transparent substrates, Optics Express, 32, 15774-15787, 2024

[7] Precision Optical Metrology and Smart Sensing (Editorial), Sensors, 24, 6816, 2024 

[8] Polarized angle-resolved spectral reflectometry for real-time ultra-thin film measurement, Optics Express, vol. 31, 6552-6565, 2023 

[9] The processing parameters optimization of UVAM-processed CuNiAl alloy based on surface integrity parameters, Tribology International, vol. 177, 107955, 2023 

[10] Fast measurement of surface defects on large components with dynamic phase-shifting digital holographic microscopy, Measurement, vol. 208, 112443, 2023 

[11] Defocus effect correction for back focal plane ellipsometry for anti-vibration measurement of thin films, Applied Sciences, 2023, 13, 1738

[12] Stitching locally fitted T-splines for fast fitting of large-scale freeform point clouds, Sensors, 23, 9816, 2023 

[13] High-accuracy Calibration of High-Speed Fringe Projection Profilometry Using a Checkerboard, IEEE-ASME Transactions on Mechatronics, 27(5), 4199 - 4204, 2022 

[14] Quality evaluation of honing surface groove features based on improved level-set analyses, Measurement, 190, 110789, 2022  

[15] Full-Dimensional Surface Characterization Based on Polarized Coherent Coded Aperture Correlation Holography, IEEE Photonics Journal, 14(6), 3160407, l, 2022

[16] Predistorting Projected Fringes for High-Accuracy 3D Phase Mapping in Fringe Projection Profilometry, IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement, 2021, 70: 5008209

[17] Positioning error calibration for two-dimensional precision stages via globally optimized image registration, Measurement, 2021, 186, 110222

[18] Xiangqian Jiang, Distortion-free intelligent sampling of sparse surfaces via locally refined T-spline metamodelling, International Journal of Precision Engineering and Manufacturing–Green Technology, 2021, 8, 1471-1486 

[19] Robust incident angle calibration of angle-resolved ellipsometry for thin film measurement, Applied Optics, 60(13), 3971-3976, 2021

[20] Characterisation of freeform, structured surfaces in T‐spline spaces and its applications, Surface Topography: Metrology and Properties 9, 025003, 2021

[21] Projector undistortion for high-accuracy fringe projection profilometry, Measurement Science and Technology, 2021, 32, 105009

[22] High wear resistance and mechanical performance of NiAl bronze developed by electron beam powder bed fusion, Tribology Letters 69: 158, 2021

[23] Efficient analysis-suitable T-spline fitting for freeform surface reconstruction and intelligent sampling, Precision Engineering, 2020, 66, 417-428

[24] 基于适合分析T样条的曲面重构方法, 航空制造技术 63(19), 96-102, 2020

荣誉获奖

[1] 2025 国家级**高水平人才
[2] 2024 湖北省高层次人才
[3] 2024 华中科技大学优秀毕业论文指导教师
[4] 2021 英国物理学会“表面计量”新兴领袖（Emerging Leaders）
[5] 2021 湖北省科技进步奖
[6] 2019 华中科技大学优秀教师班主任
[7] 2012 英国物理协会“测量科学技术”90周年亮点论文

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